产品介绍
NOC-4000光学镀膜系统概述:NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供*的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。 NOC-4000光学镀膜系统应用: 光学涂层 溅射 离子束辅助沉积 离子束刻蚀清洗 离子束辅助反应刻蚀 红外涂层 表面处理 NOC-4000光学镀膜系统产品特点: 射频偏压样品台 膜厚监测仪 极限真空5x10-7Torr 高精度及高重复性 *膜层 原子级的洁净表面 原子级清洗和抛光 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制 自动上下载片 两个腔体之间自动传送 菜单驱动,4级密码访问保护 完整的安全联锁 占地面积46”D x 44”W